风淋室在光学薄膜洁净室的应用方法
2019-09-24 07:19:39
风淋室属于光学薄膜洁净室的一种常见设施。光学薄膜主要由薄的分层介质构成的,通过界面传播光束的一类光学介质材料,如今光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域,制造各种光学仪器。光学薄膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割。膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的,可以是透明介质,也可以是光学薄膜吸收介质;可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。实际应用的薄膜要比理想薄膜复杂得多。这是因为在制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,其表面和界面是粗糙的,从而导致光束的漫散射,膜层之间的相互渗透形成扩散界面。由于膜层的生长、结构、应力等原因,形成了薄膜的各向异性,膜层具有复杂的时间效应。
光学薄膜按应用分为反射膜、增透膜、滤光膜、光学保护膜、偏振膜、分光膜和位相膜。常用的是前4种。光学反射膜用以增加镜面反射率,常用来制造反光、折光和共振腔器件。光学增透膜沉积在光学元件表面,用以减少表面反射,增加光学系统透射,又称减反射膜。光学滤光膜用来进行光谱或其他光性分割,其种类多,结构复杂。光学保护膜沉积在金属或其他软性易侵蚀材料或薄膜表面,用以增加其强度或稳定性,改进光学性质。最常见的是金属镜面的保护膜。
风淋室备在光学薄膜生产车间使用的主要原因是光学薄膜生产车间洁净度要求高,光学薄膜不能有一点灰尘。进入光学薄膜生产车间,每个人必须换上工人工作时穿的衣服、帽子、鞋子与口罩。我们被包裹得严严实实,只有一双眼睛露在外面。要经过了一道“风淋室"去尘,每个人被风淋室吹出洁净风浑身“沐浴"一遍。风淋室是员工进入洁净室与非洁净室必备的净化设备之一,它可以最大限度地减少员工进出洁净室所带来的污染问题,对待进入光学薄膜生产车间管理中起到一定的作用。在特定的洁净车间内,还配置了多条百级生产流水线使用。
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